太阳能电池片刻蚀是怎么回事

　由于扩散采用背靠背扩散，硅片的边缘没有遮挡也被扩散上磷(边缘导通状态)，太阳能电池PN结的正面所收集到的光生电子会沿着边缘扩散有磷的区域流到PN结的背面，而造成短路，太阳能电池片会因此失效。同时此短路通道等效于降低并联电阻。另外，由于在扩散过程中氧的通入，硅片表面会形成一层二氧化硅，在扩散炉高温的作用下POCl3与O2形成的P2O5，部分P原子进入Si取代部分晶格上的Si原子形成n型半导体，部分则留在了SiO2中形成PSG(磷硅玻璃)。

　　1、磷硅玻璃会使得电池片在空气中表面容易受潮，导致电流和功率的衰减;

　　2、死层增加了发射区电子的复合，以致少子寿命的降低，进而降低了Voc和Isc;

　　3、磷硅玻璃会使得PECVD后产生色差。